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更新時間：2024-11-20
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Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術。實現次納米級的表面形貌研究。
我們現在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉臺和手動調平裝置作為標準配置。
Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的視場范圍，同時其支持4倍光學變焦的功能緩解了不同應用時切換多個物鏡的需求。
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