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更新時間：2024-11-20
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SUPER TECH ST系列質量流量控制器是新一代工業微機電的產品，采用基于微機電系統（MEMS）的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。
ST系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm（氮氣等效），控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU（基于RS232或RS485）數字信號或模擬信號（4-20mA或0-5V）通信接口。所需的電源電壓為15-32V。
ST系列緊湊設計只有68mm的長度和80mm的高度，高度是傳統產品尺寸的3/5，并且本產品可以在360°
任意角度下安裝使用。
應用及案例
● 氣相色譜儀
● 配氣儀
● 真空鍍膜
● 泄漏檢測
● 生物發酵
● 食品和制藥
● 實驗室等
SUPER TECH ST系列質量流量控制器產品特點
● 響應時間≤600毫秒
● 控制范圍從 1% 到 100% 滿量程
● ±0.8% 設定點精度
● 溫度和壓力影響不敏感
● 結構緊湊小巧易于安裝
● 良好的重復性
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