激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。

產品型號：OLS5100

更新時間：2024-11-16

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激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。

激光共焦顯微鏡主機

型號		OLS5100-SAF	OLS5100-SMF	OLS5100-LAF	OLS5100-EAF
總倍率		54x–17,280x
視場		16 µm–5,120 µm
測量原理	光學系統	反射式共焦激光掃描激光顯微鏡反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡顏色彩色DIC
	光接收元件	激光：光電倍增管（2通道）彩色：CMOS彩色相機
高度測量	顯示分辨率	0.5 nm
	動態范圍	16位
	重復性σn _-1^{1 2 *5}	5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm
	準確度^{1 3 *5}	0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]）
	拼接圖像準確度^{1 3 *5}	10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])
	測量噪聲（Sq噪聲）^{1 4 *5}	1 nm（典型值）
寬度測量	顯示分辨率	1 nm
	重復性3σ_n-1 ^{1 2 *5}	5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm
	準確度^{1 3 *5}	測量值+/- 1.5%
	拼接圖像準確度^{1 3 *5}	10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長度[mm]）
單次測量時最大測量點數量		4096 × 4096像素
最大測量點數量		3600萬像素
XY載物臺配置	長度測量模塊	•	不適用	不適用	•
	工作范圍	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動	300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動
最大樣品高度		100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)	30 mm (1.2 in.)	30 mm (1.2 in.)	210 mm (8.3 in.)
激光光源	波長	405 nm
	最大輸出	0.95 mW
	激光等級	2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源		白光LED
電氣功率		240 W	240 W	278 W	240 W
質量	顯微鏡主體	約 31 kg	約 32 kg	約 50 kg	約 43 kg
	控制箱	約 12 kg